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运输属性

运输属性

扫描探头制作‘nano Matterhorn’

23 Apr 2010 IsabelleDumé.
纳米马塔宏

IBM研究人员使用了一个纳米大小的尖端,以创造小为15的特征 NM在有机抗蚀剂材料中,通常用于制造半导体芯片。这是可以通过诸如电子束光刻的传统方法生产的结构的一半。该技术也已被用来制作一个微小的马特宏观模型–并且可以帮助ChipMakers做出较小的电路。

电脑芯片和其他微电子器件由光学和电子束光谱制成,用于在有机抗蚀剂上产生图案。然而,这些技术不能很好地制造小于约30的结构 纳米因为所谓的“proximity effects”。这是电子或光束开始侵入附近的抗蚀剂的抗蚀剂的不需要的区域,该特征大于所需的特征。

Armin Knoll and Conseagues在苏黎世,瑞士,加利福尼亚州Almaden和Yorktown Heights的同事现在已经开发出一种克服这个问题的新方法。它们的扫描探针光刻技术使用加热的纳米坡将局部蒸发材料从有机玻璃的薄膜蒸发。然后可以将产生的纳米图变为硅–最广泛使用的电子材料–使用标准纳米制作技术。

技术转让

“能够以这种方式传输模式,为来自未来芯片技术和光电子的田地中的纳米型电子和物体进行制定新的前景,以医学和生命科学,”说研究人员。

尖端是500 nm长,几纳米宽在其顶点。它附着在悬臂上,悬臂扫描基板表面的精度仅为1 纳米。通过施加热量和力,尖端可以基于预定义图案去除基板材料,而是像a“nanomilling”机器说的机器说。

IBM团队选择在其原理上的原理实验中使用有机玻璃,因为该材料中的分子之间的键可以在尖端的温度下容易地破碎(300–500 °C).

高山雕塑

新技术也比电子束光刻更便宜,因为它使用的功率较少,并且可以在台面上愉快地坐着–与电子束机器相反,这是较多的笨蛋设备。它可用于制作2D模式或3D“sculptures”通过连续的蚀刻。的确,球队已经塑造了25岁 NM高3D Replica Matterhorn,着名的瑞士山。

研究人员还在700的较高温度下使用尖端的世界上最小的3D地图 °C.他们能够在几分钟内生产地图。

该团队现在希望将技术商业化,并使其广泛可供大学研究人员使用。“这也有助于进一步发展技术并扩大其潜在应用,”Knoll告诉了。研究人员还计划改进该技术,以便它可以蚀刻更小更深的模式,同时运行得更快。

报告了该研究 科学.

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